1：产品优势 （1）可以实现磁控、PECVD、热丝、 离子辅助和多弧复合； （2）适合制备碳膜、陶瓷和金属厚膜； （3）适合高温、长时间工艺模式； 2：应用领域 （1）刀具、模具； （2）汽车零部件减磨和耐腐蚀； （3）高端轴承涂层； （4)高端双极板涂层制备。 3
产品说明技术参数
应用案例样品图片
- 1：产品优势
（1）可以实现磁控、PECVD、热丝、 离子辅助和多弧复合；
（2）适合制备碳膜、陶瓷和金属厚膜；
（3）适合高温、长时间工艺模式；
2：应用领域
（1）刀具、模具；
（2）汽车零部件减磨和耐腐蚀；
（3）高端轴承涂层；
（4)高端双极板涂层制备。
3：技术参数
（1）PVD兼容PECVD工作模式。单室装炉量50-100片，1炉/4小时；半连续线模式，1片/分钟。
（2）技术指标：1.5MPa，接触电阻小于3mΩ；300mV 80℃腐蚀电流0.2μA。
每炉100片，4小时/炉。
- 工作产量：12万片/年以上。
三、商业模式：
1：OEM代工涂层加工；
2：设备定制和工艺支持；
3：合资办厂。